源測量單元(SMU)即:源表，它同時具有測量和源兩種功能。也就是說源表(SMU)測量儀在測量儀器上附加電流和電壓源功能，可同時精確采集和測量電壓和/或電流值。為各種低電平測量應用提供了額外的靈活性。

　　例如:很高的電阻值可以通過在其兩端施加電壓，測量流過的電流值而獲得。增加了源功能的源表(SMU)顯然較使用幾臺獨立的儀器更方便，更適于應用在檢測產生I-V特性曲線的半導體芯片或其它器件的測試方面。

　　典型的SMU可提供以下四種功能

　　電壓測量

　　電流測量

　　電壓源

　　電流源

　　這些功能可以單獨使用亦可按下列方式組合使用

　　做為電壓源的同時-測量電流，或做為電流源的同時-測量電壓。

　　SMU的許多特性類似于靜電計,因此它適用于低電平測量。其輸入電阻非常高(典型值為100T-Q或更高)，做高源內阻電壓測量時減小了電路的負載誤差。極小電流測量靈敏度類似于皮安表，有的低于10fA。

　　源表(SMU)的另一個重要特點是其掃描功能。無論電壓還是電流掃描均可以特定的增量在指定的量程內進行掃描，同時測量每一階梯的電流或電壓值。SMU內置的源-延遲-測量循環可以使測量速度最優化，以保證當電流需要足夠的建立時間和測量的完整性。

　　如今的數字源表儀器與源-測量單元(SMU)是類似的,包括電流和電壓源，電流和電壓測量以及掃描等性能。此外數字源表儀器還可直接顯示電阻測量值。典型的數字源表不像源-測量單元那樣具有極高輸人電阻或極低的弱電流測量能力。數字源表是為常規的測試和高速生產測試等應用而設計的。它通常用于中低電平測試和研發實驗室。與只能做單點測量的數字多用表不同，數字源表由于其內置了源功能，所以可以用來生成一組電流-電壓(I-V)特性曲線，這對于半導體器件和材料的測試是非常有用的。當做為電流源時，數字源表可與納伏表一起使用，通過自動反轉電流源的極性，修正偏置誤差來測量極低的電阻(即Delta模式)。

　　例如：2450數字源表是吉時利的新一代數字源表源測量單元(SMU)，并且能在您指尖真正實現歐姆定律(電流、電壓和電阻)測試。其新穎的圖形用戶接口(GUI)和先進的容性觸摸屏技術方便直觀使用。

　　KEITHLEY吉時利2450數字源表

　　例如：Keithley吉時利2400系列數字源表吉時利數字源表系列特別適用于需要精密電壓源和電流源驅動，同時進行電流與電壓測量的測試應用。所有源表都提供精密的電壓和電流源測量能力。每個源表均由一個高穩定的直流源和一個真儀器級的5位半多功能表組成。

　　該電源特性包括：低噪聲，高精度和回讀功能。萬用表功能包括高重復性和低噪音。其結果形成了一個緊湊的單通道直流參數測試儀。在操作中，這些儀器可以作為一個電壓源，電流源，電壓表，電流表和歐姆表。通信、半導體、計算機、汽車與醫療行業的元件與模塊制造商都將發現，數字源表對于各種特征分析與生產過程測試都極具實用價值。

　　Keithley吉時利2410型高壓源表功率為20W，能夠提供和測量從±5μV(源)和±1μV(測量)到±1100V的電壓，及從±10pA到±1A的電流。由于具有較高的電壓源范圍，2410非常適合于電阻和電壓系數測試、變阻器、高壓二極管、開關、齊納管、射頻二極管和整流器的測試。2410在提供1100V電壓的同時能夠測量20mA的電流，具有精確測試所需的特殊分辨率。

　　吉時利2400-LV型數字源表

　　Keithley吉時利2420型高壓源表功率為60W，能夠提供和測量從±5μV(源)和±1μV(測量)到±60V的電壓，以及從±100pA到±3A的電流。2420的生產測試應用必須在較高電流情況下進行測試的電阻和電阻網絡、熱敏電阻、太陽能電池、普通電池。

　　Keithley吉時利2425型100W源表將2420的電壓范圍擴展到100V，在1A的電流范圍內具有100W的測量功率。與2420型高壓源表一樣，2425也具有3A電流60W功率的測量能力。2425是針對中等功率器件(例如DC-DC轉換器)、電源和其他需要60W和100W總直流功率元件的生產測試而設計的。

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