LED/PD行業在暗電流(帶偏壓)測試上都采用什么設備來進行測試?通過對相關調研和走訪，發現目前暗電流測試主要有兩種選擇：

　　(1)SMU源測單元，一方面利用它的電壓源功能，可以完成反向偏壓的掃描，另一方面同時利用它的測量功能，完成小電流的測試，這個方案的優點是電壓掃描范圍大，最高可到幾百伏，而電流的測量功能也能基本滿足nA級別的測試要求，缺點則是SMU的單價比較高，相對而言性價比就沒那么高了。

　　(2)另一種采用高精度的DMM或者皮安表，這兩個產品都屬于測量設備，可以用于暗電流測試，電流的測試精度甚至可以達到pA級別，產品的優點是價格適中，測量精度較高;但這兩個產品的缺點是1)無法提供偏壓，只能完成無偏壓環境下的暗電流測試，2)高精度萬用表的輸入端壓降(voltage burden)比較高，會影響小電流的測試精度。

　　目前5G大基建如火如荼，光通信行業呈現爆發式增長，帶寬和速度越來越快，不管是無源的光網絡如FTTx、光纖光纜，還是有源的光收發模塊、光芯片等等都對PD端的靈敏度提出了越來越高的要求，那么，靈敏度的提升必然對暗電流的要求也越來越苛刻，通過查閱很多規格書，相當一部分的暗電流測試的要求都明確要求暗電流≤1nA，有的甚至要求≤幾百pA，同時偏壓要求在5-15V之間，有的電壓要求≥100V, 這對于DMM和皮安表來說基本無能為力。

　　那到底有沒有一款既可以提供偏壓掃描，又能進行小電流測試的儀表呢?答案是有的，比如吉時利的6487皮安表就可以實現。我們先看下這個帶偏壓皮安表的幾個重要指標：

　　1. 10 fA resolution

　　2. <200uV burden voltage

　　3. 支持電壓掃描和Analog output

　　4. 掃描電壓范圍0-505V;

　　吉時利的6487型皮安表測試特點：

                                                        吉時利6487皮安

　　6487除包含6485的所有功能外增加了500V的電壓源以適用高電阻和電阻率測量。它比6485有更高的精度和更快的上升時間，也有阻尼功能用于電容器件的漏電測試等。這款高性價比儀器具有八個電流測量量程和高速自動

　　量程，可測量的電流從20fA到20mA，按照每秒最多1000個讀數的速度進行測量，電壓源從200μV到505V。

　　對于1、2和4三項指標而言，完全滿足了文章前面提到的暗電流測試的要求，而且電壓源支持同步掃描并>100V，同時帶模擬輸出功，不僅能描繪I-V曲線、測試高阻器件，還可以應用到fiber alignment以及PD on-wafer測試等光電典型應用中。

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